DLOG STDF 直接編集・データ復元 完全ガイド
ヘッダー修正 · Bin/合否訂正 · Bulk Edit · Quick Fix · 破損修復

1. STDF 直接編集の必要性と安全性アーキテクチャ

半導体の量産テスト現場において、STDF (Standard Test Data Format) はテスターが直接出力するバイナリ生ログです。 作業員がロット番号やプログラム名を誤入力して MES/EDC システムへのアップロードが拒絶されたり、プローバー設定ミスでノッチや X/Y 軸が反転して記録されるトラブルは日常的に発生します。

従来、これらを修正するには数百 MB の STDF をテキスト形式の ATDF に変換して手作業で修正したり、複雑なスクリプトを書く必要がありました。 DLOG はこの工数を完全に解消し、バイナリ STDF V4 を直接開いて GUI 上で修正し、規格準拠の STDF としてそのまま再保存できます。

Tools & Export メニューの階層構造

画面右上の Tools メニューと Export メニューは、分析画面で精査したデータを修正・出力するための統合コントロールパネルです。

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状況別 編集コマンド選択ガイド

2. Edit STDF Info (ロットヘッダーおよびメタデータ編集)

STDF V4 標準規格の主要メタデータをカテゴリー別に閲覧・編集できる集中ダイアログです。 左側の Categories リストから対象を選択し、必要な項目を修正します。

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8 つの編集カテゴリー

3. Edit Result (個別ダイ・測定値の精密編集)

ウェーハマップ上の特定のダイや、パッケージファイナルテストの特定ユニットを指定し、最終合否判定やパラメトリック測定値を微修正します。

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4. Bulk Edit (条件付き一括編集 & 座標移動)

数十万個のダイの中から、特定の欠陥条件、測定サイト、パラメトリック測定範囲に該当するパートを抽出し、一括して Bin の変更、削除マーク付け、あるいはウェーハ座標軸の反転・回転移動を行えます。

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一括編集の 3 ステップ

1. 対象条件の指定 (Target parts):
   Soft BIN =, Hard BIN =, Result =, Site =, Item value (Low〜High 範囲と Inside/Outside), Item is FAIL から条件を設定します。有効化されたすべての条件を満たす (AND) パートが抽出されます。全パートを対象とする場合は Whole scope をオンにします。
2. 対象の事前検証 (View targets...):
   View targets... をクリックして、該当パート数と一覧を事前に確認します。
3. アクションの選択と適用 (Action & Apply):
   実行したい処理とパラメーターを選択し、Apply を押すと確認ダイアログを経てメモリに反映されます。

サポートされているアクション

5. Quick Fix (データ矛盾の自動修正)

ATE ログで多発する問題として、「スペックリミットを満たしているのに FAIL フラグが付いている」「PASS Bin に割り当てられているのに判定が FAIL になっている」といった論理矛盾があります。 DLOG の Quick Fix エンジンはロット全体を自動精査し、矛盾をカード形式で整理して最適な解決策を提案します。

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検出される主な矛盾と解決カード

以下のカードのうち、検出された矛盾に該当するもののみが表示されます（上例では4枚）。矛盾がない場合は "No consistency issues found." と表示されます。

6. リテスト & 重複パート削除

プロービング時のピン接触不良による再テストや、ハンドラーでの重複挿入により、同一のダイやユニットが複数回記録されることがあります。 DLOG はダイ座標 (X/Y) 基準の Delete Earlier Retests と、識別子キー (PART_ID / PART_TXT) 基準の Delete Duplicate Parts という 2 つのクリーンアップ機能を提供します。

6.1 Delete Earlier Retests (過去リテスト履歴の削除)

ウェーハソートにおいて同一ダイ座標が複数回測定された場合、最終測定 (Last Insertion) のみ残し、過去の 1 回目・2 回目の測定データをメモリから完全消去します。

動作手順

1. コマンドの実行 (Tools > Edit > Delete Earlier Retests):
   重複座標を自動検出し、削除対象となる旧履歴ダイ数を算出して確認ポップアップを表示します。
2. 最終測定の維持:
   確定すると各ダイの最終テスト結果のみが保持され、過去の試行データが削除されます。
3. 統計の即時連動:
   歩留まり集計、パレート図、ウェーハマップの履歴が即時更新されます（Ctrl + Z で取り消し可能）。

6.2 Delete Duplicate Parts (重複パート削除)

座標の有無に関わらず、同一の識別子 (PART_ID または PART_TXT) を持つ重複パートを検出し、指定した基準（最後のパートまたは最初のパート）だけを残して不要な重複レコードを一括消去します。 ファイナルテスト（FT）などの座標がないデータや、2D バーコード/ECID でトレーサビリティ管理を行う工程に不可欠です。

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3 つの判定ルール (Duplicate Rules)

デフォルト は初回起動時の設定値です。Delete で実行すると設定が記憶され、次回起動時にも引き継がれます（Cancel では保存されません）。

7. Save STDF & Anonymize STDF (バイナリ保存と安全な匿名化)

メモリ上で修正したロットを規格準拠のバイナリ STDF V4 としてディスクに書き戻したり、外部委託先に提供するための機密マスク処理を行えます。

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Save STDF (バイナリ STDF 出力)

編集されたパート合否、修正ヘッダー、補正された座標を完全なバイナリ .stdf として生成します。 書き出し直前に Issues ダイアログが表示され、データ整合性の最終確認が行われます。

• 単一ファイルの条件: バイナリ STDF 1 ファイルを開いている場合のみ保存可能です（ATDF や複数ファイル統合表示時は不可）。
• リテスト設定との連動: Retest チップが Collapsed（デフォルト）の場合は重複した過去リテスト行が除外されてファイル容量がスリム化されます。全履歴を残す場合は All insertions に切り替えます。

Anonymize STDF (知的財産マスク)

外部 OSAT ファウンドリ、分析ラボ、装置メーカー、学会等にテストデータを渡す際、機密漏洩を防ぐ機能です。

• 匿名化対象: Lot ID、Sublot ID、Test Program Name（およびRev）、Device/Part Type、Node Name、Operator、Test Item Name、Bin Name（名称のみ。Bin番号は維持）を安全な別名（Alias）に置換します。ウェーハ1枚のファイルは Wafer ID も置換されます。
• 精密測定値の完全保持: 電圧・電流などの数値データ、分布、ダイ座標、Cpk 統計は100% 元データのまま保持されるため、外部での高度な統計解析を阻害しません。
• 置換対応表 (CSV) の生成: 匿名化コピーの横に、元の識別子と別名を照合できる置換マップファイル（CSV）が同時に保存されます。置換マップは外部に送付せず、社内でのみ厳重に保管してください。

8. Repair STDF (破損・途切れファイルの復元)

テスターの強制終了、ブルースクリーン、ネットワーク瞬断、ディスク枯渇などにより、ファイルの末尾が途切れたりバイナリ構造が破損した STDF をビット単位で修復します。

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復元エンジンの特徴

• ファイルを開かずに直接修復: ダイアログからディスク上のファイルを指定するため、通常のビューワーで開くことすらできない深刻な破損ファイルも修復可能です（ダッシュボードの STDF Repair Needed チップからも直結）。
• ビット単位のレコード境界再同期: レコードヘッダー（長さ2バイト + タイプ1バイト + サブタイプ1バイト）構造に沿ってレコード境界を再探索し、破損バイト区間を隔離して有効なパートレコード（PIR/PTR/PRR）を最大限回収します。
• 欠落サマリーレコードの自動再構築: ファイル末尾の途切れにより MRR, PCR, SBR, HBR, TSR が消滅している場合、復元されたパートデータを全件再集計し、STDF V4 標準に完全準拠したサマリーレコードを自動合成します。
• 復元結果の透明な公開: 完了ダイアログに回収できたパート数、保持・再生成されたレコード数、破棄された破損バイト数、および主な検出事項（INFO は欠落していたヘッダー・要約を規格に適合させて補完した記録）が表示されます。大きなギャップをスキップした場合は、一部のパートが欠落している可能性がある旨の警告も併せて表示されます。
• 自己検証 (Self-Validation): 修復直後に内部パーサーで再読み込みテストを行い、規格を満たさない場合は不正なファイルを残さず安全に破棄します。

9. Split & Merge (STDF ファイルの分割と結合)

巨大なロットファイルを用途ごとに分割したり、複数回に分かれて測定された同一ロットの分割ログを 1 つの STDF に統合できます。

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Split STDF (条件別ファイル分割)

単一の STDF をグループ毎に分割して保存します:

• By Wafer: ウェーハ 1 枚ごとに 1 ファイルへ分割（ウェーハ外のパートは NOWAFER ファイルへ格納）。
• By Site: パラレルテストの各サイト（Site 1, 2, 3...）別に分割し、サイト間バラツキ調査に活用。
• By Head: マルチヘッド環境でのヘッド別分割。
• Every N parts: 指定パート数で均等分割（同一ダイのリテストは最後の測定が含まれるファイルに集約）。

特定のパートに属さないレコードはすべての出力ファイルに複製され、すべてのパートが同一グループの場合は分割対象がない旨が案内されます。2つのヘッドのウェーハが同時に開いている構造や、パート以外のPRR（テストプラン区切りなど）が含まれるファイルは現時点では分割できません。

Merge STDF (複数 STDF の統合)

単なるバイナリの連結ではありません。 最初のファイルのヘッダー（MIR、WCR、SDR、ピンマップ）のみを残し、すべてのファイルのパートをバイト単位でそのままコピーした上で、全パートを網羅的に集計してPCR（パート数）、SBR/HBR（Bin合計）、TSR（テスト別最小/最大/合計）サマリーレコードを完全に再計算します。ファイル選択ダイアログでSTDFを2つ以上選択して保存名を指定します。時系列の記録順序を厳密に制御する必要がある場合は、CLIの merge（指定順に結合）を使用してください。

10. フォーマット一括変換 & CLI 自動化

GUI 上での対話的な解析に加え、量産サーバーのバッチ処理や CI/CD パイプラインでも同一のエンジンを活用できます。

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主要な業界標準フォーマットへの変換

dlog-cli.exe によるヘッドレス自動化

DLOG インストール先の dlog-cli.exe を使用すれば、GUI を起動せずに自動バッチ処理を実行できます。

• dlog-cli info <inputs...> [--json]: Lot ID、歩留まり、パート数、Binサマリーを即時出力
• dlog-cli convert <inputs...> --format csv,sinf,g85,e142,json: 指定形式への一括変換
• dlog-cli merge part1.stdf part2.stdf --out merged.stdf: 指定した順序でファイルを結合
• dlog-cli split <file.stdf> --by wafer|site|head|chunk [--out <folder>]: ウェーハ・サイト・ヘッド・パート数（--parts N）別に分割
• dlog-cli repair broken.stdf: 破損ファイルを復旧し、同階層に broken_repaired.stdf を生成
• dlog-cli anonymize lot1.stdf --out D:\share: 匿名化コピー（_anon.stdf）と置換マップCSVを生成
• dlog-cli report <inputs...> --format pdf,xlsx,docx,image: レポート自動生成

入力にはファイル、フォルダ（内部の *.stdf、*.std、*.atdf を対象）、*.stdf などのワイルドカードが使用可能です。 既存の出力ファイルは --overwrite が指定されない限り上書きされず、終了コード4で終了します。CLIメッセージはOSロケールに関わらず常に英語で出力されます。 全オプションと終了コードの詳細は、アプリ内の Tools > Help > CLI Usage をご確認ください。

11. よくある質問 (FAQ)

Q1. DLOGでSTDFを変更すると、ディスク上の元ファイルは直ちに上書きされますか？

いいえ、自動で上書きされることは決してありません。 DLOGは完全なインメモリ仮想編集アーキテクチャを採用しています。すべての修正内容はPCのRAM上でのみ保持され、明示的に Tools > Output > Save STDF を実行して保存先を指定するまで元ファイルは完全に維持されます。未保存の編集がある状態でファイルを閉じたり別ファイルを開こうとすると、まず確認ダイアログが表示されます。ただし保存時に元ファイルと同じ名前を選択した場合は上書きされますので、新しい名前で保存するか事前にバックアップを作成してください。

Q2. DLOGで編集・保存したSTDFファイルは、他の商用ツール（JMP、YieldHub、Galaxyなど）でも正常に開けますか？

STDF V4標準構造に準拠して保存されるため、一般的に問題なく開けます。 DLOGはSTDF V4バイナリ仕様に厳格に準拠してレコード長、タイプ/サブタイプコード、ピンマッピング構造を再シリアライズし、保存後に自動で自己再読込を行って構造健全性を検証します。ただし各社解析ソフトウェア固有の解釈仕様の差異までを保証するものではありませんので、重要データは普段ご利用のツールで一度開いて確認されることを推奨します。

Q3. Quick Fix と Bulk Edit はどのように違いますか?

Quick Fix は、「規格値内なのに合否フラグが FAIL になっている」など、データ自体の論理的矛盾を検知して標準的なルールで直すエラー整合性修復ツールです。
一方、Bulk Edit はデータエラーの有無に関わらず、エンジニアが指定した条件（特定サイト、特定測定値の範囲）のダイを抽出して歩留まり再選別、Bin 変更、ウェーハ座標軸の反転・回転を行う一括操作ツールです。

Q4. テスターが途中でクラッシュして末尾が切れたファイルは復元できますか?

はい、Repair STDF で高精度に復元できます。 末尾の不完全なバイト列を切り捨て、記録されている完全なダイレコードを救出し、消失した PCR, SBR, HBR, TSR 要約レコードを救出ダイから自動再計算して正常な STDF を再構築します。

Q5. 複数の STDF ファイルを結合（Merge）する際の注意点は？

結合するファイル同士は、同一テストプログラム構成、同一テスト項目一覧、同一バージョンである必要があります。 また、シリアル PART_ID が各ファイルで 1 から重複して採番されている場合、結合後にリテストとして扱われる場合があるため事前にご確認ください。

Q6. Delete Earlier Retests と Delete Duplicate Parts の違いは？

Delete Earlier Retests は、主にウェーハソートにおいて同一ダイ座標 (X, Y) に複数回プロービングされた履歴のうち、以前の測定を消して最終プロービングのみを残す座標ベースのツールです。
一方、Delete Duplicate Parts は、ファイナルテスト (FT) などの座標のない工程でも、PART_ID (シリアル/バーコード) または PART_TXT 文字列 が同一のパートを検出し、最初または最後のみを残して重複を排除する識別子ベースのツールです。

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