DLOG Leistungsstarker Mehrdimensionaler Diagramm-Leitfaden (Histogram · Trend · Box Plot · Scatter · Pareto · CDF · Multi-Site Delta & ANOVA)

OVERVIEW

1. Benutzeroberfläche und Navigation

Wählen Sie Diagrammtyp, Testparameter und Wertebereich aus, um Diagramm und Statistiken sofort zu aktualisieren. Ein Klick auf einen Eintrag in der rechten Leiste Tests (Cpk) springt direkt zum Test; kritische Werte werden rot hervorgehoben.

DLOG Diagrammoberfläche Übersicht — **Abbildung 1. Layout der Diagrammoberfläche** — ① Diagrammtyp ② Testparameter ③ Wertebereich ④ Auflösung ⑤ Log ⑥ Filtersuche ⑦ Hauptzeichenbereich ⑧ Statistik ⑨ Cpk-Liste

Diagrammtypen: Histogram · Trend · Box Plot · Scatter Plot · BIN Pareto · CDF / Probability (ausgewählter Test bleibt beim Umschalten aktiv)
Wertebereich: Auto (P1~P99) · Full (Min~Max) · Spec Limits · Manual...
Filtersuche: Ctrl + F zur schnellen Suche nach Testname oder Testnummer
Punkt-Rechtsklick: Öffnet die Part-Info-Karte mit Schnellzugriff auf Table · Record · Wafer

HISTOGRAM

2. Histogramm — Verteilung und Cpk

Visualisiert die Messwertverteilung mit Gaußscher Normalverteilungskurve, Mittelwert, ±σ und Spezifikationsgrenzen (LL/HL). Grenzwertüberschreitungen werden mit roten Balken markiert.

Histogrammansicht — **Abbildung 2. Histogramm** — Die rechte Statistikanzeige liefert Cpk, Cp, Est ppm und Anderson-Darling Normalitäts-p-Wert.

Cpk-Farbcodierung: 3 Stufen (Pass / Warn / Fail) mit Standardgrenzen bei 1,00 / 1,33 (konfigurierbar in Main Options). Wenn der Normality (AD) p-Wert unter 0,05 liegt, ist die Normalverteilungsannahme verletzt; prüfen Sie in diesem Fall Box-Plot und CDF. Die Log-Skala steht für Histogramm und CDF zur Verfügung, wenn alle Werte strikt positiv sind.

TREND

3. Trend — Zeitreihen- & Driftüberwachung

Plottet Messwerte exakt in der chronologischen Reihenfolge der Die-Tests, um Drift, thermische Erwärmung und plötzliche Ausreißer aufzudecken.

Trend-Diagrammansicht — **Abbildung 3. Trend-Diagramm** — Mittelwertlinie, +3σ-Band und HL-Grenze. Grenzverletzungen werden rot (Fails) hervorgehoben.

Sites: Farbcodierung nach Test-Site · Fails: Markierung von Ausfällen · Gaps: Linienunterbrechung bei Testpausen · MovAvg: Gleitender Durchschnitt
WECO: Western Electric Regelkartenregeln (R1~R4). Klick schaltet durch: Aus → 2x → 3x → 1x. Bei Multi-Site-Systemen mit natürlicher Kanalstreuung verhindern 2x oder 3x Fehlalarme.
DPAT (trend): Blendet adaptive Part-Average-Testing-Bänder ein, die pro Wafer (blau), Site (orange) oder Lot (violett) neu berechnet werden.
Nach dem Hineinzoomen mit dem Mausrad setzt ein Doppelklick die Ansicht zurück.

BOX PLOT

4. Box-Plot — Quartile und Ausreißer

Stellt die 5-Punkte-Zusammenfassung übersichtlich dar: Median, Interquartilsabstand (IQR), Whiskers und Ausreißer auf einen Blick.

Box-Plot-Ansicht — **Abbildung 4. Box-Plot** — Box = Q1~Q3, Fette Linie = Median, Grüne Raute/Gestrichelt = Mittelwert, Rote Punkte = Ausreißer außerhalb der Whiskers.

Das Statistikfeld zeigt Median, Q1, Q3, IQR, Whisker-Grenzen und Anzahl der Ausreißer. Ein Rechtsklick auf einen Ausreißerpunkt markiert den entsprechenden Die sofort auf der Wafer-Map.

SCATTER & CORRELATION

5. Scatter / Korrelationsanalyse / 3D

Untersuchen Sie bivariate Beziehungen zweier Parameter mit Regressionsgeraden und analysieren Sie alle paarweisen Korrelationskoeffizienten als interaktive Heatmap.

Korrelationsanalyse-Ansicht — **Abbildung 5. Korrelationsanalyse** — Korrelations-Heatmap, Streudiagramm mit Regressionslinie (r, R², Steigung) und Top-Korrelations-Rangliste.

Pearson: Lineare Stärke · Spearman: Rangbasiert (robust gegenüber extremen Ausreißern)
Paare mit |r| ≥ 0,95 werden als Duplicate test markiert, um redundante Tests zur Testzeitoptimierung (TTO) zu identifizieren.

3D-Scatter-Ansicht — **Abbildung 6. 3D-Scatter (Eigene 3D-Ansicht)** — Gleichzeitige Ansicht von 3 Tests auf X-, Y- und Z-Achsen. Links-Ziehen zum Drehen, Rechts-Ziehen zum Verschieben, Rad zum Zoomen, Doppelklick zum Zurücksetzen.

BIN PARETO

6. BIN-Pareto — Defekt-Rangfolge

Sortiert fehlerhafte BINs absteigend nach Häufigkeit und zeigt die kumulierte Prozentkurve. Es muss kein bestimmter Test ausgewählt werden.

BIN-Pareto-Ansicht — **Abbildung 7. BIN-Pareto** — Balken = Fehleranzahl und % je BIN, Linie = Kumulierter Anteil (rechte Achse). Die Liste rechts zeigt BIN-Namen und Anteile.

Die 15 häufigsten BINs werden einzeln dargestellt, alle übrigen in einem Others-Balken zusammengefasst. Vergleichen Sie den führenden BIN im BIN-Reiter der Wafer-Map mit den räumlichen Defektmustern.

CDF / PROBABILITY

7. CDF / Wahrscheinlichkeit — Verteilungsenden

Zeigt den kumulierten Anteil der Messwerte unterhalb eines Schwellenwerts. Die gestrichelte Kurve repräsentiert die Normalverteilung; Abweichungen der Kurven decken Asymmetrien und Randanomalien auf.

CDF-Ansicht — **Abbildung 8. CDF / Probability** — Das rechte Kurvenende, das über die HL-Grenze hinausragt und 100 % spät erreicht, deckt latente Ausreißer jenseits der Obergrenze auf.

Wenige Ausreißer-Dies, die im Histogramm aufgrund geringer Balkenhöhe kaum sichtbar sind, lassen sich an den Enden der CDF-Kurve mühelos erkennen.

GROUP & SITE

8. Gruppenanalyse (ANOVA) und Multi-Site

Vergleichen Sie Varianzen über Sites, Temperaturen, Lose oder Tester-Revisionen hinweg und diagnostizieren Sie Hardware-Ungleichgewichte zwischen parallelen Testkanälen.

Gruppenanalyse-Ansicht — **Abbildung 9. Group Analysis** — Gruppenvergleich über Box-, Hist- oder Quantile-Plots; unten werden One-way ANOVA (F, p-Wert, Eta²) und Tukey-HSD-Testergebnisse angezeigt.

Multi-Site-Ansicht — **Abbildung 10. SITE** — Ausbeute nach Site, BEST/WORST-Site-Spanne (SITE SPREAD) und Parameterrangliste nach Site-Abweichung (TEST MATRIX). Doppelklick auf eine Site isoliert deren Daten.

Liegt p < 0,05 und Eta² ≥ 0,05 vor, deutet dies auf einen handlungsrelevanten Gruppenunterschied hin. (Bei großen Stichproben wird der p-Wert selbst bei winzigen Differenzen sehr klein.)
Die STDF-Konvention von Site 255 (Gesamtsumme aller Sites) wird über SITE 255 on part records in den Main Options geregelt.

EXPORT

9. Export und Berichte

Export CSV speichert die Rohdaten und Statistiken des aktiven Diagramms, während der Berichtsgenerator ausgewählte Diagramme in formale Reports einbindet. Um Verteilungen aus mehreren Dateien zu überlagern, nutzen Sie den Overlay-Reiter in der Compare-Ansicht.

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